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30.04.2020, 15:15 Uhr
Richi
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Danke!
Einen Überblick wie ich die Bilder erstelle findet sich hier: https://richis-lab.de/Howto.htm
Dieses Kapitel müsste ich aber wieder mal überarbeiten, daher für euch und als Dank für die Hilfe eine aktuelle Beschreibung:
1. Öffnen Bei Metallgehäusen ist es natürlich einfach, ich kann aber mittlerweile auch relativ prozesssicher Epoxidpackages öffnen. Erst habe ich ganz primitiv mit einem Gasbrenner gearbeitet. Die Ergebnisse sind da erstaunlich gut. Das Silizium kommt mit relativ hohen Temperaturen zurecht. Der Epoxid zersetzt sich und man kann die Reste "wegbröseln". Mittlerweile habe ich mir einen Brennofen gebaut (der findet sich im Link oben), mit dem ich einigermaßen sauber 400-500°C einstellen kann. In dem Ofen kann ich die Epoxidpackages relativ lange lassen ohne dass das Die gleich degeneriet. Das Die ist dann meistens schon "fertig". Etwas Isopropanol entfernt letzte "Rauchgas-Schleier". Selten verbleibt eine Polyimidschicht auf dem Die zurück, die man dann noch einmal 50°C wärmer in den Ofen gibt. Der Brennofen eignet sich auch sehr gut um Metalldeckel von Keramikpackages zu öffnen. Das ist ja meistens Hartlot und braucht höhere Temperaturen.
2. Ausrichten Man möchte es nicht glauben, aber dafür nutze ich eine billige dritte Hand. Etwas doppelseitiges Klebeband fixiert das Die. Die dritte Hand steht auf einem Papier, so dass sie sich leichter schieben lässt. Die Krokodilklemme und den Arm drehe ich dann mit der Hand so wie ich es brauche. Ein Kreuztisch wäre natürlich komfortabler, da bräuchte ich aber nicht (nur) einen X-Y-Tisch, sondern vor allem einen Tilt-/Shift-Tisch, die seltener und teurer sind. Die große Herausforderung ist nämlich nicht die X-Y-Ausrichtung sondern das Verkippen, so dass alle Ecken in der minimalen Schärfenebene liegen. Ein X-Y-Rot-Tilt-Shift-Tisch wäre dann wohl schon recht teuer und groß und passt daher nicht ins Konzept. Die Kamera liegt auf einer ESD-Matte auf einem massiven Tisch. Die Auslösung erfolgt mit einem Fernauslöser und Spiegelvorauslösung, so dass möglichst keine Vibrationen die Optik erreichen. Auf den Bildern siehst du den Nachbar husten! Die Grobfokussierung erfolgt über ein Hin- und Herschieben der dritten Hand. Die Feinfokussierung erfolgt über den Fokusring des Objektivs. Hier ist es wichtig, dass es sich um einen Ultraschall-Motor handelt. Für die händische Verstellung einer Mikromotor-Fokussierung benötigt man zu viel Kraft.
3. Fotografieren Als Kamera dient eine Canon 60D. Das Objektiv ist in Retrostellung (falsch herum) montiert. Wichtig für einen hohen Vergrößerungsfaktor ist eine kleine Brennweite, ich nutze ein 10-22mm Ultraweitwinkel. So kann ich auch den Vergrößerungsfaktor noch komfortabel variieren. Reicht die Vergrößerung nicht füge ich zwischen Objektiv und Kamera Zwischenringe ein, das führt aber dann irgendwann zu einer nachlassenden Bildqualität.
4. Belichtung Man darf auf keinen Fall direktes LED-Licht verwenden, das führt zu einem eigenartigem Schillern der Metalllage. Halogenlicht oder Gasentladungslampen scheinen das Optimum zu sein. Indirektes Licht ist besser. Die Lichtmenge ist nicht entscheidend, man wählt da lieber eine lange Belichtungszeit (0,1s bis 10s bei ISO400). Und hier kommt ein Trick ins Spiel: Die schönen farbigen Bilder entstehen eigentlich nur bei Mikroskopen mit Auflicht-Funktion. Ich habe aber herausgefunden, dass eine Beleuchtung des Dies von hinten zum gleichen Ergebnis führt. Anscheinend reflektiert die Linse des Objektivs genug Licht in der richtigen Art und Weise, so dass es für die Optik wirkt als würde es sich um ein Auflicht-Mikroskop handeln. Hier und bei allen anderen Techniken kommt natürlich ganz viel Erfahrung ins Spiel. Ich habe schon tausende Fotos mit diesem Aufbau gemacht und lerne jeden Tag wieder ein klein bisschen dazu. Wenn ihr meine alten Beiträge anschaut (nicht die ganz alten ), dann lässt sich eine konstante Verbesserung der Bildqualität erkennen.
5. Nachbearbeitung Ich fotografiere immer RAW-Bilder, die ich danach durch den CANON-HDR-Entwickler jage. Was bei "normalen" Bildern zu LSD-Effekten führt, tut den Chip-Bildern gut weil das Gegenlicht zu einem gewissen Ausbleichen führt. Abgesehen davon will ich ja eben kein reales Abbild eines Dies (bezüglich der Farben) sondern ein Abbild auf dem ich möglichst gut die unterschiedlichen Bereiche und damit auch die Funktionen analysieren kann. Mittlerweile nutze ich auch Fokus-Stacking, wodurch ich schräge Bilder und Konstruktionen mit einer Tiefe scharf aufnehmen kann. Als Programm nutze ich da Helicon Focus 7. Den Aufwand darf man nicht unterschätzen. Ich muss teilweise bis zu 60 Bilder aufnehmen, um dann ein Bild erzeugen zu können.
So, ich hoffe ich habe nichts vergessen...
Grüße,
Richard |